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                  超純水系統工藝及其施工

                  時間:2019-05-10

                  一、?超純水系統總體介紹?
                  ????隨著電子工業的發展,在芯片的生產加工過程中,對于水質的要求也越來越高。為了保證生產出超大規模的集成電路,除高純原材料、高純氣體、高純化學藥品外,高純水也是其中最關鍵的因素之一。高純水系統是將一般的市政用水處理成對不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純水。?
                      超純水系統總體來說一般可分為三個部分:?超純水制造區(CUB部分);?超純水拋光循環區(F[**]B部分);?超純水輸送管網(F[**]B各使用區)。?
                      其中超純水制造區最為復雜其又可分為:預處理、一次純水處理、超純水處理三個部分。?預處理部分主要包括:沙濾、活性炭塔(有的廠商在沙濾前還增設反應槽、氣浮池);?一次純水部分主要包括:陰陽離子交換塔、脫氣塔(DG)、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級反滲透;?
                  超純水部分主要包括:MDG(脫氧膜組)、TOC-UV殺菌器、混床(MB)及終端過濾器。?但是由于考慮到在向工藝線設備輸送高純水過程中,輸水管道會對水質再次造成污染,因而在F[**]B內一般都設立拋光循環系統。拋光循環系統主要以MB為核心,再加上超濾設備(UF),以除去在向工藝生產線輸送純水的過程中,管網溶入水中的雜質。?
                  二、?超純水系統中各階段常用管材?
                  ????在超純水系統中管材的選用也非常重要,既要能做到保證水質、又應該做到經濟合理。超純水系統中常用管材主要包括:PVC、SGP、SGP(RL)、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。
                      一般在超純水制造區預處理階段多采用PVC管或SUS304管。設備面管一般采用內襯膠鋼管(SGP?RL),對于水泵等產生震動的動力設備周邊采用SUS304管;在一次純水階段主流程采用CPVC管或SUS304管。高壓泵與反滲透(RO)之間,由于壓力高,所以須采用SCH80的SUS304管及耐壓2.0Mpa級法蘭。由于RO對水溫有一定要求,因而一般在RO之前有熱交換器,其周邊也應采用SUS304管;在超純水制造階段,主流程一般應采用SUS316管和CPVC管;拋光循環區主流程一般采用SUS316管(焊接連接,并要求雙面成型)和PVDF管。超純水回收管道采用CPVC管。?
                      在以上水處理各階段廢水排放管道均采用普通PVC管;在純水制造過程中酸堿等加藥管線,應采用耐沖擊PVC管;純水系統中使用的氮氣系統采用SUS304管,超純水拋光系統所用氮氣管道采用SUS316管;壓縮空氣系統在純水系統中作為氣動閥開關動力,一般采用SUS304管或SGP管,當采用SGP管時進入電氣盤前需加過濾器。?
                  三、?超純水系統施工?
                  ????超純水系統水站部分施工難度最大,其主要包括三個部分:設備的搬入及安裝,共用管架的制作安裝以及管道的安裝。設備的移入一定要注意編制詳細的設備吊裝方案,特別是對于超重、超大、易損設備,千萬不可以野蠻冒險施工。共用架臺的施工要注意兩個環節:?
                      1、架臺與土建結構連接處一定要堅固,最好采用預埋鐵板。若因種種原因不能預埋,則應用化學鉚栓固定在梁上,不應使用一般的簡易膨脹螺栓。切不可用鐵板和簡易膨脹螺栓固定在樓板上;?
                      2、整段管架一定要保持水平,以免管道與共架接觸部位由于應力不均勻引起管道彎曲破損。?水站的管道施工除CD[**]、氮氣及熱交換器用的蒸汽或冷熱水管道可以按系統進行施工外,其他站內管道施工可分為兩大部分,即共架管道施工和設備周邊配管施工。開工初期兩部分可以同時進行施工。當共架直管段與設備本體配管完成之后,應該從設備周邊管道向共架管道進行連接配置,最終與共架管道相連形成封閉的管路系統。

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